ترجمه مقاله ژورنال برای پروژه درسی تکنولوژی ساخت نیمه رسانا مقطع کارشناسی ارشد برق الکترونیک

مقدمه:

در اوایل سال 2004 یک موضوع مشخص شد که به موجب آن مجموعه ابزارهای متعدد پروسه˛ نشان داد که تجربه روند زمانی بیش از حد پایین با آزمایشات مکرر نمی تواند برای مواد خارجی مانیتور ویفر (FM) در آی بی ام 300 میلی متر منجر به تسهیل ساخت نیمه هادی شود.درHopewell Junction معیار ردیابی که به عنوان ابزار FM شناخته می شود، درصد «خارج از کنترل» (FM٪OOC) در حد بالاتر که مشخص شده اجرا شد و به این ترتیب ابزارها بسته شدند تا زمانی که آنها بتوانند به محدودیتها رسیدگی کنند.این ابزار زمان تا به حال تاثیر مستقیمی بر توانایی fab برای دیدار با زمان چرخه خود و تعهدات خروجی مشتری داشت. برای رسیدگی به این مشکل، مدیریت اجرایی یک گروه کاری ابتکاری FM ایجاد شد که مأموریت آن شناسایی و رفع علل افزایش نرخ های شکست ابزار بود. دو هدف اصلی ابتکار FM عبارت بودند از: